日本理研

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　適用于半導體工業

　特點

● 內裝微機能進行自動調整和自我診斷
● LCD液晶顯示
● 小型、輕量設計
● 帶峰值保持和測平均值功能
● 聲/光雙重報警功能
● 記錄輸出(1～5VDC)

　規格

檢測原理	定電位電解方式
檢測氣體和范圍	見下表
檢測方式	連續檢測/平均值檢測/峰值檢測
控制功能	微機控制
顯示	LCD自照明
指示精度	±10%FS以內
反應時間	30秒內(氣體濃度超3倍報警設定值時)
采樣系統	隔膜內置泵
使用溫/濕度	-10℃～+40℃，低于90%RH
連續使用時間	堿性干電池20小時，Ni-Cd電池10 小時(無報警照明時)可連接AC外接電源
尺寸·重量	200(W)×80(H)×142(D)mm 約1.9Kg

　檢測氣體名稱

檢測氣體	檢測范圍	報警設定值
磷 (PH3)	0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)	0.3ppm
胂 (AsH3)	0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)	0.3ppm
四氫化硅 (SiH4)	0-15.0ppm(1刻度0.5ppm)	5ppm
乙硼烷 (B2H6)	0-30.0ppm(1刻度0.5ppm)	10ppm
氯化氫 (HCl)	0-5.00ppm(1刻度0.05ppm)	2ppm
氟化氫(HF)	0-9.0ppm(1刻度0.5ppm)	3ppm

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